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旋轉塗佈機 ■ Spin Coater - 桌上型旋轉塗佈機 ■ For silicon wafers,glass,metal or ceramic substrates. Features

旋轉塗佈機
■ Spin Coater - 桌上型旋轉塗佈機 ■ 
For silicon wafers,glass,metal or ceramic substrates. 
Features
※ Wide speed range 0-8,000 rpm 
  continuously variable.
※ Light weight,compachness permits 
  relocation within lab area and ease 
  of maintenance. 
※ Rapid acceleration,dynamic braking. 
※ Reliability-engineered to insure a 
  minimum of maintenance. 
Spec.
外型尺寸 510mmWX550mmDX550mmH 
主體外殼 白色 PP 板一體成型 
基材固定方式 不銹鋼真空吸盤 
操作程序 兩段式轉速控制 
操作腔體 不鏽鋼,內徑 26cm 直徑 
轉速 200-8000rpm 
電源 110V, 10A控制面板 按鍵旋鈕式 
馬達 直流馬達 
旋轉時間設定 0-999sec(LED 顯示)  
附 1/5HP 真空幫浦 
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旋轉塗佈機 使用說明: 
1.本機共分四個計時器,用來控制時間2.首先開啟電源開關 (POWER) 
a.第1個STEP 氮氣噴灑時間 
b.第2個STEP 添加光阻劑時間 
c.第3個STEP 第1段旋轉塗佈時間 
d.第4個STEP 第2段旋轉塗佈時間 (按下START前請將時間設定好) 
3.將晶片置放於適當的吸盤上 (請依晶片大小選擇適當的吸盤大小) 
4.開啟真空幫浦開關 (PUMP) 真空幫浦開始啟動,此開關與電源開關為連鎖動作,如不開啟機器無法運作 
5.再按啟動開關 (START) 則計時器依序計時,時間在面板計時器上顯示,轉速在面板RPM錶上顯示 
6.轉速由面板上自藕變壓器控制,可分為STEP 1、STEP 2兩段各自控制轉速7.待計時及轉速停止後, 按下(PUMP) 開關關掉真空幫浦,取出晶片即完成 
8.關閉 (POWER) 開關 (可再依先前操作順序重新操作)
 
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■ Spin Coater - 桌上型旋轉塗佈機 ■ 小型旋轉塗佈機
For silicon wafers,glass,metal or ceramic substrates. 
Spec. 
外型尺寸 300mmWX400mmDX375mmH 
主體外殼 白色 PP 板一體成型 
基材固定方式 不銹鋼真空吸盤 
操作程序 兩段式轉速控制 
操作腔體 不鏽鋼,內徑 26cm 直徑 
轉速 200-8000rpm 
電源 110V, 10A 
控制面板 按鍵旋鈕式 
馬達 直流馬達 
旋轉時間設定 0-999sec(LED 顯示)  
附 1/5HP 真空幫浦 
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旋轉塗佈機使用說明:
1.本機共分二個計時器,用來控制時間 
2.首先開啟電源開關 (POWER) 
a. 第1個STEP 第1段旋轉塗佈時間 
b. 第2個STEP 第2段旋轉塗佈時間 (按下START前請將時間設定好) 
3.將晶片置放於適當的吸盤上 (請依晶片大小選擇適當的吸盤大小) 
4.開啟真空幫浦開關 (PUMP) 真空幫浦開始啟動,此開關與電源開關為連鎖動作,如不開啟機器無法運作 
5.再按啟動開關 (START) 則計時器依序計時,時間在面板計時器上顯示,轉速在面板RPM錶上顯示 
6.轉速由面板上自藕變壓器控制,可分為STEP 1、STEP 2兩段各自控制轉速 
7.待計時及轉速停止後, 按下(PUMP) 開關關掉真空幫浦,取出晶片即完成 
8.關閉 (POWER) 開關 (可再依先前操作順序重新操作)  
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聯絡資料 
公司:力丞儀器科技有限公司 
電話:03-375-7588 
傳真:03-375-7088 
地址:[桃園縣 / 桃園市]桃園縣桃園市經國路9號7樓之1 
營業項目:www.apisc.com.tw 
會員服務:joey@apisc.com

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